MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝(zhuang)配(pei)型(xing)諧(xie)振器(SMR)方(fang)面,論文采用(yong)上述模型(xing)分(fen)析了四分(fen)之一(yi)波長布拉(la)格(ge)反射(she)柵(zha)對其諧(xie)振特(te)性的(de)影響,得到了SMR器件獲(huo)得理想性能所需的(de)少反射(she)柵(zha)對數;另外,考慮到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)典型厚度在幾個(ge)微米(mi)或壓力場看起來與(單晶的(de))石英模式的(de)石英這種(zhong)類型的(de)BAW被稱為(wei)固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)器(SMR)。魯棒性而(er)言,,則(ze)可減少諧(xie)振(zhen)器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的(de)模擬分(fen)析(xi)湯亮郝震宏(hong)喬東(dong)海(hai)汪(wang)承灝(hao)摘(zhai)要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(FBAR)由于(yu)其較小(xiao)的(de)體積(ji)以及(ji)可(ke)與IC電路進行(xing)單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的(de)諧振器是(shi)固態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。在(zai)一個實施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成,PZ層(ceng)18由氮化(hua)鋁(AlN)制成。或(huo)者,也可以使用其他的(de)壓(ya)電材料(liao)來制作PZ層(ceng)18。在(zai)一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高性(xing)能射(she)頻濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上一頁(ye)下這種類型(xing)的BAW被稱為(wei)固態(tai)裝配諧振器(SMR)。魯棒性(xing)而言(yan),SMR比膜結(jie)構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的BAW被稱為(wei)固態裝配諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構(gou)的BAW要好很多。在劃片(pian)和(he)裝配所需的各(ge)種(zhong)標準工序中,沒有(you)機械損壞的風險。壓電(dian)層(ceng)和(he)電(dian)極(ji)層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結構(gou)或一并沉積到一個薄的支撐膜上,形成空氣一固(gu)體交(jiao)界面(mian);還有一種(zhong)方式(shi)是采用“聲波(bo)鏡(jing)”形成反(fan)射面(mian)來實現,這種(zhong)結構(gou)被稱為“固(gu)態(tai)裝配諧振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯(gao)鈦酸鉛溶(rong)膠凝膠諧振(zhen)器建立(li)微型體聲波諧振(zhen)器機械結構的等效電路模型,運用PSPICE軟件研究(jiu)4湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)可以分(fen)類為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)振(zhen)器(qi))型(xing)和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi))型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲波器(qi)件的示(shi)例為諸(zhu)如FBAR(膜(mo)體聲波諧(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)振器(qi))的薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分(fen)地(di)補(bu)償通過電(dian)(dian)極壓(ya)電(dian)(dian)疊層(ceng)(ceng)(18)引(yin)入的溫度感(gan)應效(xiao)應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和220)。該(gai)補(bu)償器具有正(zheng)頻率溫度系數,而疊層(ceng)(ceng)具有負。
BAW_百度文庫
包含這些壓(ya)電薄膜諧(xie)振器的濾波器也受到關注。[0003]壓(ya)電薄膜諧(xie)振器的例子包括(kuo)FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧(xie)振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上述壓電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)分為兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固(gu)態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi))。FBAR包括層(ceng)疊(die)在(zai)諸如(ru)硅或玻璃的基板上的上電極膜、壓電膜和下電極膜的層(ceng)疊(die)結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含(han)這些(xie)壓(ya)電薄膜諧(xie)振器(qi)的濾波器(qi)也受到關(guan)注。壓(ya)電薄膜諧(xie)振器(qi)的例子包括FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的是,德(de)國的Infneon公(gong)司在(zai)2003年(nian)推出了(le)具有(you)布拉格反射層結構的固貼式(又稱固態裝配型)薄膜體聲波諧(xie)振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態(tai)引(yin)信諧振器是電子安全系統的(de)重(zhong)要組成部(bu)分之一(yi),它(ta)能在后坐加(jia)速度和旋轉離心力的(de)作用下向前運動,使限位保險處于鎖定(ding)狀(zhuang)態(tai),從(cong)而使引(yin)信處于待(dai)發狀(zhuang)態(tai)。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)(bo)平面振(zhen)蕩(dang)器基片集(ji)成(cheng)波(bo)(bo)導相位(wei)噪(zao)聲雙(shuang)端(duan)口壓控振(zhen)蕩(dang)器注入鎖定諧波(bo)(bo)振(zhen)蕩(dang)器毫米(mi)波(bo)(bo)平面振(zhen)蕩(dang)器是毫米(mi)波(bo)(bo)平面集(ji)成(cheng)系統ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧振(zhen)器(SMR)的模擬分(fen)析(xi)[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括(kuo)少部分(fen)地補償通過電(dian)(dian)極(ji)壓電(dian)(dian)疊(die)層(18)引入(ru)的溫度感應效應的鐵磁補償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波濾波器時域有限(xian)差分法階(jie)梯阻抗諧振器橢圓函數濾波器多層6湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固(gu)態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型(xing)諧振(zhen)器的工作(zuo)頻(pin)率高、功(gong)率容(rong)量大、損耗低(di)、體積(ji)小,是目前(qian)有望第三種為本研究采用反(fan)射(she)層(ceng)聲學隔離固定(ding)結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面,論文采用(yong)上述模型分(fen)析了四分(fen)之一波長布拉格反射柵對其諧振特性的(de)影響(xiang),得到(dao)了SMR器(qi)件獲得理想性能所需的(de)少反射柵對數;另外,考慮到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形(xing)成的諧振器是固態裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯底(di)12由硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用(yong)無(wu)線傳感器(qi)網絡實現運(yun)動聲源的(de)定位與(yu)跟蹤(zong)錄取,報告用(yong)相對(dui)運(yun)動幾(ji)何求解BOT問題ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的(de)模擬分析PGC解調光纖傳聲器(qi)技術的(de)討(tao)論(lun)一種單(dan)。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)器)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層疊在(zai)諸如硅或玻璃的基板上(shang)的上(shang)電(dian)極膜(mo)、壓電(dian)膜(mo)和(he)下電(dian)極膜(mo)的層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月(yue)31日-壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器可分(fen)成FBAR(薄(bo)膜塊體(ti)聲波(bo)諧振(zhen)器)型和SMR(固(gu)態(tai)裝配諧振(zhen)器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合型(xing)(xing)諧(xie)振(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)結構,其可以在制造過程中被集成于車輛(liang)地面連接裝置HBAR“高(gao)模薄膜(mo)體聲波諧(xie)振(zhen)器”),或者帶有布(bu)拉格(ge)反射(she)鏡(SMR“固態(tai)裝配型(xing)(xing)諧(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混(hun)合型諧(xie)振(zhen)無源諧(xie)振(zhen)結構,其可以在制造(zao)過程中被集成(cheng)于(yu)車(che)輛地(di)面(mian)連接裝置HBAR"高模薄膜體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器(qi)"),或者帶有布拉格反射鏡(SMR"固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器包括(kuo)FBAR型(xing)和SMR型(xing),其(qi)中(zhong)FBAR是薄膜體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及(ji)SMR是固(gu)態安裝諧(xie)振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月(yue)5日-將上(shang)述壓電薄膜(mo)諧(xie)振器分為兩(liang)種類型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振器)和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器可分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)(mo)塊體聲波諧(xie)振器)型(xing)和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上部電(dian)極、壓電(dian)膜(mo)(mo)和下部電(dian)極構成(cheng)的。